等离子废气处理就是处于电离状态下的气体，等离子体由大量的电子、离子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成。一般气体放电产生等离子体属于低温等离子体。另外也可以对低浓度、高流速、大风量的含挥发性有机污染物和含硫类污染物进行处理。常压下，气体放电产生的高度非平衡等离子体中电子温度（数万摄氏度）远高于气体温度（100摄氏度），在非平衡等离子体中可能发生各种类型的化学反应，主要决定于电子的均匀能量、电子密度、气体温度、有害气体分子浓度和共存的其它气体成份。但电子和正离子的电荷数必需相等，整体表现出电中性，这就是等离子的含义，等离子具有导电和受电磁影响的性质，在很多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四状态。
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