光氧催化废气净化器通过微波损伤处理技术、光微波微波技术、气体分子链净化技术。光微波炉采用微波发射器激发光源，发射本身带有辐射会对废气产生破坏作用，作为第一个重处理：使用253.57nm波段切割、破碎、裂解气分子链，改变分子结构，为第二处理；取185nm波段对气体分子催化氧化，分子或中子O3结合有机或非极性分子破坏恶臭化合物分子链，在氧化过程中，成为低分子化合物转化为CO2，H2O，作为第三重处理；最后根据不同的废气成分配置7中以上相对应的惰性催化剂，惰性催化剂在338nm光源以下才会发生催化反应，激发效果类似于植物的光合作用，对废气达到净化效果，为第四废气处理；通过四种处理后废气净化率可达99%以上，除臭净化效果大大超过恶臭污染物国家排放标准1993颁发的污染物（GB14554-93）。
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