Veeco K465i外延设备滤芯
产品说明:
该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒;
2只/组(粗滤、细滤)
组成材料:
1、滤材: 耐高温玻纤滤料
2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网
3、骨架:304#不锈钢菱形网
4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片
5、密封胶:硅橡胶
规格:
1、端盖:φ360*φ225,304#不锈钢
2、耐高温密封垫:φ340*φ265*T5
3、折数:一级(100μm):118折, 折高65mm;二级(25μm):88折,折高65mm
过滤效率:
1、粗滤:100μm=90%
2、细滤:25μm=99.95%
3、透气量:1000L/Sec/㎡
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