Veeco K465i外延设备滤芯
产品说明：
该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；
2只/组（粗滤、细滤）
组成材料：
1、滤材： 耐高温玻纤滤料
2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网
3、骨架：304#不锈钢菱形网
4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片
5、密封胶：硅橡胶
规格：
1、端盖：φ360*φ225，304#不锈钢
2、耐高温密封垫：φ340*φ265*T5
3、折数：一级（100μm）:118折, 折高65mm;二级（25μm）:88折，折高65mm
过滤效率：
1、粗滤：100μm=90%
2、细滤：25μm=99.95%
3、透气量：1000L/Sec/㎡
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