河南郑州南北原子力显微镜厂有限公司

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原子力显微镜FM-Nanoview 6800AFM详细说明

一、主要功能特点(硬件系统)

1、光机电一体化设计，外形结构简单；

2、扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；

3、精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；

4、采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；

5、伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；

6、高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；

7、高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；

8、带光学定位的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域；

9、采用伺服马达控制CCD自动对焦功能；

10、模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；

11、集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

12、带温度显示。

13、弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强

    (软件系统):

1、可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像；

2、具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式；

3、可自由选择图像采样点为256×256或512×512；

4、多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；

5、多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS（f-RMS）、RMS-间隙（RMS-Z）测量功能；

6、可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；

7、可任意选择样品起始扫描角度；

8、激光光斑检测系统的实时调整功能；

9、针尖共振峰自动和手动搜索功能；

10、可任意定义扫描图像的色板功能；

11、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；

12、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；

13、支持样品图片离线分析与处理功能。

二、主要技术指标:

1、工作模式：接触、轻敲、可扩展相位、摩擦力、磁力或静电力

2、样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm

3、最大扫描范围：横向50um，纵向5um

4、扫描分辨率：横向0.2nm，纵向0.05nm

5、扫描速率：0.6Hz~4.34Hz

6、扫描角度：任意

7、样品移动范围：0～50mm

8、马达趋近脉冲宽度：10±2ms

9、光学放大倍数：10X

10、光学分辨率：1um

11、图像采样点：256×256，512×512

12、扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A

13、数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样

14、反馈方式：DSP数字反馈

15、反馈采样速率：64.0KHz

16、计算机接口：USB2.0

17、运行环境：运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统